삼성전자 차세대 EUV 확보…이재용 출장길 '매듭'

[서울=뉴시스] 이재용(오른쪽) 삼성전자 부회장이 14일(현지시각) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 ASML CEO와 기념촬영을 하고 있다. (사진=삼성전자) 2022.06.18. [email protected] *재판매 및 DB 금지

[서울=뉴시스] 이인준 기자 = 이재용 삼성전자 부회장이 유럽 출장길에 네덜란드 반도체장비업체 ASML의 차세대 EUV(극자외선) 노광장비 도입 계약을 매듭 지은 것으로 전해졌다.

30일 업계에 따르면 이 부회장은 지난 14일(현지시간) 네덜란드 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO(최고경영자), 마틴 반 덴 브링크 CTO(최고기술책임자)를 만나 내년 이후 출시 예정인 '하이 뉴메리컬어퍼처(NA) EUV'를 포함해 올해 생산되는 EUV 노광장비 도입 계약을 마무리했다.

EUV 노광장비는 초미세 공정의 핵심이다. ASML이 독점 생산한다. 최근 삼성전자의 3나노 공정 세계 최초 양산으로 관심이 커진 파운드리(위탁생산) 시장의 판도를 좌우할 '게임체인저'로 꼽힌다.

특히 내년에 나올 신제품 하이 NA EUV는 기존 장비보다 렌즈와 반사경 크기를 키워 회로를 더 세밀하게 그릴 수 있는 것으로 알려졌다. 이미 인텔과 TSMC가 장비 구매계약 체결과 공정 도입을 예고한 상태에서 삼성전자도 대응에 나선 것이다.

삼성전자 관계자는 "장비 계약 상황 등에 대해서는 구체적으로 밝히기 어렵다"고만 밝혔다.


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