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예스티 "반도체 습도제어 네오콘, 65억 누적 수주 달성"

등록 2023.01.31 10:31:37

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예스티 "반도체 습도제어 네오콘, 65억 누적 수주 달성"


[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 반도체 장비 전문기업 예스티는 국내 굴지의 반도체 기업과 누적 65억원 규모의 고효율 습도 제어 장비 '네오콘' 수주 성과를 올렸다고 31일 밝혔다.

예스티에 따르면 네오콘은 기존 반도체 공정에 사용되던 '질소가스' 기반 습도 제어 장비를 대체하는 장비다. 질소를 사용하지 않아 원가 절감 효과가 크기 때문에 반도체 공정 전반으로 확산될 가능성이 높은 것으로 평가된다.

예스티는 지난해 10월 네오콘 개발을 완료해 국내 글로벌 반도체 기업과 공동으로 공정평가를 진행한 바 있다. 공정평가 결과 습도를 기준치 이하로 제어할 수 있다는 평가를 받아 네오콘 수주계약을 체결한 이후 공급이 점차 확대되고 있다고 회사 측은 설명했다.

네오콘은 파운드리 공정뿐 아니라 메모리, 디스플레이 공정으로도 적용이 확대될 예정이다. 최근 글로벌 반도체 기업들의 공정 미세화 추세가 가속화되고 있어 습도 관리에 대한 중요성이 더욱 부각되고 있기 때문이다.

예스티 관계자는 "네오콘은 공정평가 과정에서 고객사가 요구하는 기준보다 훨씬 뛰어난 습도제어 성능을 인정받아 파운드리 공정, 메모리 공정에도 공급하는 데 성공했다"면서 "현재 다른 공정에도 확대하기 위한 데모평가를 진행하고 있으며, 향후 반도체 전체 공정으로 적용을 확장시켜 나갈 것"이라고 말했다.


◎공감언론 뉴시스 [email protected]

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