日기업 한국서 'EUV포토레지스트' 생산…아베정부 규제 피하나

[서울=뉴시스] 삼성전자 경기도 화성 극자외선(EUV) 전용 반도체 생산라인 전경. (사진: 삼성전자 제공) 2020.02.20.

[서울=뉴시스] 최희정 기자 = 'EUV(극자외선)용 포토레지스트'를 생산하는 일본 기업 TOK가 국내에서 생산을 시작한 것으로 알려졌다. EUV용 포토레지스트는 일본 정부가 지난해 7월부터 수출을 규제한 품목 중 하나다. 

일본 정부는 지난해 7월 반도체·디스플레이 제조에 필요한 핵심 소재인 포토레지스트, 불화수소, 플루오린 폴리이미드 등 3개 품목을 일반포괄허가 대상에서 개별허가 대상으로 바꿨다.

1일 업계에 따르면, TOK 측은 국내 한 매체에 TOK그룹 티오케이첨단재료주식회사(한국법인명)에서 EUV용 포토레지스트를 제조하고 있으며, 제품을 적시에 제공할 수 있다는 내용의 서면을 보냈다.

TOK 한국법인에서 생산한 EUV용 포토레지스트는 삼성전자 반도체 공정 적용 테스트가 진행되고 있는 것으로 전해졌다.

EUV용 포토레지스트는 삼성전자가 비메모리 라인에서 사용하는 소재다. SK하이닉스의 경우 D램 등 메모리 반도체 사업이 주력인 점을 감안한다면 삼성전자가 일본 기업이 한국 현지에서 생산한 EUV 포토레지스트에 관심을 보일 것으로 보인다.

반도체업계 한 관계자는 "생산공정 적용 테스트를 하려면 양산 라인에서 해야한다"며 "EUV용 포토레지스트를 쓰는 곳은 삼성 밖에 없을 것이다. SK하이닉스의 경우 EUV 포토레지스트를 연구용으로 소량 쓸 정도"라고 말했다.

삼성전자 관계자는 "이에 대해 확인 할 수 없다"고 밝혔다.

최근 일본 반도체 소재회사들이 한국에서 생산을 확대하고 있다.

일본 간토덴카 공업은 반도체용 특수가스인 '황화카르보닐'을 천안 공장에서 생산하기 시작했다. 반도체용 필름인 솔더레지스트의 전 세계 점유율 1위 회사 다이요홀딩스는 지난 5월 충남 당진 투자를 발표했다.


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