1ASML, 한국에 1조원 투자…삼성전자, '장비 경쟁' 힘받나
네덜란드의 장비업체 ASML이 한국에 차세대 극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 연구개발(R&D) 시설 건립을 본격화한다. ASML이 삼성전자 초미세 반도체 제조공정 개발을 적극 지원하려는 차원이다.
이를 통해 대만 TSMC와 장비 경쟁을 벌이고 있는 삼성전자가 ASML과의 기술 동맹을 강화해 차세대 장비 확보에 유리한 고지를 차지할 지 주목된다.
5일 업계에 따르면 ASML은 최근 한국토지주택공사(LH)와 '삼성전자의 초미세 반도체 공정 R&D 지원을 위한 시설 부지 매입 계약'을 체결했다.
ASML은 R&D