테스, 플라스마 처리 장치 관련 특허 취득

【서울=뉴시스】이진영 기자 = 테스(095610)는 플라스마 처리 장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 관한 특허를 취득했다고 12일 공시했다. 

이 특허는 반도체 장비를 제조할 때 적용하면 제품 경쟁력을 향상시킬 수 있다고 회사 측은 설명했다.

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