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나인테크 "반도체 식각 포커스링 개발 사업자로 선정"

등록 2021.09.27 15:25:12

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[서울=뉴시스]신항섭 기자 = 이차전지·디스플레이 장비 전문기업 주식회사 나인테크는 2021년도 중소기업기술혁신개발사업(중소기업부, 소부장일반)의 주관연구개발기관으로 선정됐다고 27일 밝혔다.

과제명은 '반도체 식각 장비의 MTBC 향상을 위한 내식각성 부품(Focus ring) 제조 기술 개발'이며, 총 개발 기간은 2년이다.

나인테크 관계자는 "당사가 맡은 본 과제는 반도체 식각 공정에 사용되는 반도체 부품(Focus ring)의 개발로 본 부품은 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 균일한 플라즈마 밀도 유지와 웨이퍼 측면(Edge)의 오염을 방지하는 역할을 수행한다"며 "본 제품 개발이 완료될 경우 꾸준한 매출 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대한다"고 말했다.

또 그는 "더 나아가 이번 과제 수행을 통해 포커스 링의 본격적인 사업화가 이뤄진다면 반도체 부품 시장의 수입의존도를 낮추고 전문 인력을 양성하는 등 국내 반도체 부품 시장의 경쟁력을 높일 것"이라고 기대했다.

나인테크는 디스플레이 제조장비업으로 시작해 이차전지 장비 시장으로 사업영역을 확대한 바 있다.


◎공감언론 뉴시스 hangseob@newsis.com

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