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반도체용 불화수소 품질평가 시작… 표준연구원, 설비 구축 완료

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등록 2020-09-22 12:01:00
국내 기업 대상으로 불화수소 순도분석 시험검사 서비스 시작
측정기술·표준물질 자체 개발, 표준 시험절차서도 개발 중
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[대전=뉴시스] KRISS 가스분석표준그룹 산업용독성가스분석표준팀이 불화수소 품질평가를 진행하고 있는 모습.
[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 한국표준과학연구원(KRISS)이 국내 기업을 대상으로 반도체용 불화수소에 대한 순도분석 시험검사를 시작한다.

KRISS는 국산 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공하고 불화수소를 시작으로 약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행한다고 22일 밝혔다.

KRISS는 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응키 위해 지난해 8월부터 분석 장비비 8억원, 시설 구축비 7억원 등 긴급예산 15억원을 들여 해당 실험실 구축을 진행해왔다.

KRISS는 이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험결과를 제공할 수 있게 돼 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반에 걸친 경쟁력 향상을 기대하고 있다.

불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용되며 현재 일본업체에서 세계시장을 독점하고 있다.

국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라 표준화돼 있지 않지만 KRISS에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련하면서 측정기술과 표준물질도 자체 개발했다.

불화수소의 품질평가는 불순물을 측정해 순도를 결정하는 방법으로 진행된다. 실린더에 들어 있는 액체상태의 불화수소를 기체화해 가스의 조성을 분석한다.
 
기체 크로마토그래프(Gas Chromatograph)와 푸리에변환 적외선분석기(FTIR)를 이용해 10여 종의 기체상 불순물을 분석하고 유도결합 플라스마 질량분석기(ICP-MS)로 20여 종의 금속성분 불순물을 분석해 최종 순도를 결정한다. 이를 통해 업체들은 KRISS의 분석결과를 자사 제품과 비교, 부족한 점을 개선할 수 있다.

KRISS는 내년 상반기중으로 이와 관련된 표준 시험절차서 개발을 완료하고 20여 종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다.

또 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최하는 등 국내 가스 소재 업체의 기술 자립화 지원에 힘쓸 전망이다.

이번 순도분석 시험서비스를 희망하는 업체나 기관은 KRISS 표준성과한마당(https://eshop.kriss.re.kr)을 통해 신청할 수 있다.

박현민 연구원장은 "지난해 하반기부터 일본 수출규제 적극대응 위원회를 운영해 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해 왔다"며 "KRISS가 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다"고 말했다.


◎공감언론 뉴시스 kys0505@newsis.com
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