나노종합기술원, 삼성 300㎜ 반도체장비 도입…소부장 자립 '속도'

지난해 이어 올해 삼성 반도체 장비 3대 추가 이전

반도체 소부장 기술개발 지원역량 강화, 공공 테스트베드 구축

[대전=뉴시스]  나노종합기술원 연구진이 기술원 2층에 조성된 12인치테스트베드에서 측정 및 증착장비를 운영하고 있는 모습. *재판매 및 DB 금지

[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 나노종합기술원은 반도체 테스트베드 기반의 소부장 서비스 확대와 시스템반도체 지원역량 강화를 위해 삼성에서 보유한 12인치 반도체 장비 3대를 새로 도입해 나노팹에 이전 설치한다고 29일 밝혔다.
 
기술원은 지난해 3월 국내 처음으로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축, 관련 기업과 연구기관 등에 양산단계의 기술개발 및 실증 성능평가 서비스를 제공하고 있다.

하지만 현재 구축된 테스트베드 장비는 일부 소재 중심의 성능평가 지원에 그쳐 다양한 소재와 부품·장비 국산화 개발 지원을 위해선 추가 장비 확보가 필요한 상황이다.

기술원은 "최근 반도체 소부장 개발은 기술 수준 및 특성상 단독 개발보다 특정공정과 장비플랫폼 선상에서 상호 연계된 개발·평가과정이 필요하게 됐다"면서 "국내 개발부품의 한계를 극복키 위해 다양한 부품 및 장비간 지속적인 협업과 피드백을 지원할 전용장비 구축이 절실, 대기업 등이 보유한 장비확보를 추진해 왔다"고 설명했다.

그동안 기술원은 삼성과 반도체 소부장 생태계 조성 및 사회적 기여 등을 위해 긴밀한 협력을 진행, 삼성에서 보유한 가용장비를 공공나노팹 시설에 저가 이전키로 협의하고 지난해 3대에 이어 올해 3대를  추가이전하게 됐다.

올해 삼성에서 이전하는 장비는 ▲300㎜ 금속박막 증착 스퍼터링(Sputtering) ▲실리콘 산화막 및 질화막 식각장비 ▲폴리실리콘 식각장비 등 다중쳄버로 구성돼 있어 다양한 소부장 개발 및 실증테스트, 기존 200㎜ 공정장비와 연계한 300㎜수준의 차세대 시스템반도체 개발에 활용된다.

특히 기술원은 삼성의 보유설비 이전을 계기로 소부장 테스트베드 장비 확충 및 고도화를 통해 차세대 선행기술개발, 시제품제작 및 성능평가 등 신뢰성 있는 실증데이터를 제공할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

이에 따라 기술원은 종합반도체 대기업-중소기업, 공공테스트베드 간 긴밀한 협력생태계 구축을 적극 추진해 나간다는 방침이다.

이조원 기술원장은 "반도체 장비가격 급등, 납기지연 등으로 장비확보가 어려운 상황에서 보유장비 이전을 결정해 준 삼성에 감사드린다"며 "소부장 관련 기업이 필요로 하는 장비 및 공정기술 플랫폼을 고도화하고 개발 결과물이 수요기업에 신속히 적용, 소부장 기술자립을 앞당길 수 있도록 노력해 나가겠다"고 말했다.


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