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핵융합연구원-㈜아바코, 세계 첫 차세대 디스플레이 양산 기술확보

등록 2022.05.17 11:01:00

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기사내용 요약

17일 핵융합연, ㈜아바코 'ECR 플라즈마 스퍼터링 기술이전' 계약 체결
공정압력 10배 낮춰, 장치수명과 안정성 획기적 향상
기존 장치로 구현 불가한 차세대 디스플레이 박막 증착 공정

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[대전=뉴시스] 핵융합연구원과 ㈜아바코의 기술협력 추진과정. *재판매 및 DB 금지

[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 장치 수명과 안정성을 획기적으로 높일 수 있는 차세대 플라즈마 디스플레이·반도체 제작기술이 국내 기업에 이전돼 상용화에 착수한다.

한국핵융합에너지연구원은 17일 ㈜아바코와 'ECR 플라즈마를 이용한 스퍼터링 기술' 이전계약을 체결하고 차세대 디스플레이 증착 양산장비 개발에 본격 나선다고 밝혔다.
 
ECR(Electron Cyclotron Resonance)은 마이크로파 주파수를 전자의 각 주파수와 동일하게 맞춰 공명을 일으켜 가열하는 방식이고 스퍼터링(Sputtering)은 반도체·디스플레이 등의  박막 제조 공정에서 활용되는 물리적인 증착방법이다.   
 
 ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 목표물 근처에 고밀도 플라즈마의 발생과 전압조절을 독립적으로 제어할 수 있어 고에너지 입자에 의한 박막의 손상을 최소화할 수 있다.

특히 박막표면 가열효과를 통해 저온에서도 고품질의 박막을 증착할 수 있는 첨단기술이다.

기존 기술의 경우 장치의 구조적 문제로 증착률 손실과 마이크로파 발생 장치의 짧은 수명, 내·외부 진공 챔버의 크기 등으로 인해 대규모 양산에 한계가 있었다.
 
이번에 아바코에 이전되는 핵융합연의 ECR 플라즈마 스퍼터링 기술은 기존 스퍼터링 기술보다 공정압력을 10배 낮게 운전할 수 있고 증착률과 입자의 에너지도 조절 가능, 장치 수명과 안정성을 획기적으로 개선했다.

이에 따라 기존 장치가 구현하지 못했던 차세대 디스플레이 박막 증착 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대받고 있다.

아바코는 스퍼터링 기술개발과 관련해 13년째 핵융합연과 협력을 진행해 온 첨단산업 분야 종합장비기업으로 그동안 2차례 기술이전을 통해 5세대 ECR 플라즈마 스퍼터 장비개발에 성공한 바 있다.

이번 기술이전을 바탕으로 아바코는 세계 최초로 양산기술을 확보하게 돼 국내외 차세대 반도체·디스플레이 제작 시장서 경쟁우위를 차지한다는 계획이다.

 기술이전 책임자인 김성봉 책임연구원은 "이번 기술은 그동안 난제였던 양산성을 획기적으로 높인 신개념 기술로 양산화 성공 시 국내 기업이 차세대 디스플레이 산업을 선도할 수 있어 해당 분야 국가경쟁력을 높이는데 기여할 수 있을 것으로 기대한다"고 밝혔다.

 핵융합연 유석재 원장은 "이번 기술이전 사례는 출연연과 국내 중소·중견기업이 신뢰를 바탕으로 오랜 기간 지속적으로 협업하며 산업기술 발전에 기여한 모범 사례가 될 것"이라면서 "연구원의 우수 연구성과들을 다양한 산업분야에 확산, 국가산업발전에 기여할 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.


◎공감언론 뉴시스 kys0505@newsis.com

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