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삼성SDI, 日 장악했던 포토레지스트 독자개발 착수

등록 2021.06.20 18:35:52

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삼성SDI, 日 장악했던 포토레지스트 독자개발 착수

[서울=뉴시스] 정윤아 기자 = 삼성SDI가 그간 일본이 장악하고 있던 반도체 포토레지스트(PR)개발에 착수한 것으로 확인됐다.

20일 업계에 따르면 삼성 SDI 전자재료사업부는 최근 연구소에 PR개발에 필요한 8인치 웨이퍼 노광 및 트랙 장비를 입고했다.

또 PR이 활용되는 반도체 노광 분야 전문가 영입도 경력 공채를 통해 진행한 것으로 전해졌다.

김상균 삼성SDI 전자재료개발실장이 PR관련 연구팀 재정비 등을 주도한 것으로 알려졌다.

PR은 반도체 제조 필수 소재로 빛으로 회로를 만들어내는 노광공정에 사용된다. 하지만 일본이 지난 2019년 3대 수출규제 품목으로 지정하는 등 일본업계가 압도하고 있었다.

국내에서는 동진쎄미켐과 같은 업체들이 200억원을 들여 PR신공장을 준공하는 등 국산화 노력을 해왔다.

삼성SDI 관계자는 "연구소에 새로운 장비를 들이고 관련 인력을 뽑는 것은 맞다"면서도 "아직 구체적으로 어떤 품목을 개발하고 언제쯤 상용화될지 등은 정해지지 않았다"고 설명했다.


◎공감언론 뉴시스 [email protected]

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