아스타, '가스 질량분석기 양산성능평가' 국책과제 선정

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 아스타가 반도체 분야를 향한 도전에 중요한 단계에 진입했다.

아스타는 최근 산업통상자원부의 '반도체 공정 실시간 진단 및 모니터링용 가스 질량분석시스템 양산성능평가 사업'에 선정됐다고 14일 밝혔다.



회사 측에 따르면 아스타는 비행시간형(TOF) 질량분석 기술을 바탕으로 반도체 생산 공정에 최적화된 고감도 실시간 기체 분석 장비를 개발했고, 이미 개발된 장비를 세계적인 반도체 기업에서 양산평가를 하게 됐다.
 
이번 사업은 반도체 제조 공정에서 사용되는 기체들을 실시간으로 고정밀 모니터링할 수 있는 질량분석시스템의 양산 성능을 평가하고, 생산 현장에 적용 가능한지 확인하는 것이 목표다.

아스타는 국내 공인 인증기관을 통해 개발 장비의 기초 성능을 인증 검사를 수행하고, 곧 이어 해당 반도체기업에서 현장 적응 성능평가를 진행할 예정이다.



아스타가 개발한 'GM-TOF'는 기존 사중극자 방식의 잔류가스 분석기(RGA)에 비해 빠른 검출 속도와 높은 감도를 자랑한다. 변화가 민감한 반도체 공정 환경에 보다 유연하게 대응할 수 있다고 회사 측은 설명했다. 특히 대부분의 부품이 모듈화 기반으로 표준화돼 있어, 장비 유지보수나 고장 시 기존 외산 장비처럼 오랜 시간을 기다릴 필요 없이 수 시간 내 수리할 수 있다.

TOF 기술이 접목된 아스타의 실시간 가스 모니터링 시스템(Real-Time Gas Monitoring System)은 공정 중 또는 공정 후 클리닝 과정에서 발생하는 다양한 기체의 조성 변화와 진공도 등을 신속하고 정밀하게 분석한다. 반도체 공정의 품질과 생산 수율 향상에 기여하는 핵심 장비로 평가된다는 게 회사 측의 설명이다.

아스타 관계자는 "회사가 보유한 클라우드 기반 TOF-MS(Time-of-Flight Mass Spectrometer) 기술을 활용해 경쟁사 대비 뛰어난 가격 경쟁력과 우수한 품질로 수입 장비를 대체함은 물론, 글로벌 시장 진출도 본격화할 계획"이라고 말했다.

그러면서 "TOF-MS 기술을 기반으로, 반도체 공정에서 발생하는 잔류가스를 기존보다 빠르고 정밀하게 중앙·현장에서 실시간 모니터링할 수 있는 시스템을 구축 중"이라며 "내년 안으로 실제 생산현장에 적용하는 것을 목표로 하고 있다"고 설명했다.


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