비씨엔씨, CVD-SiC 대체 소재 양산 PO 첫 접수

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 반도체 소재 및 부품 전문기업 비씨엔씨는 글로벌 반도체 기업인 H사로부터 반도체 식각 공정용 부품 'CD9(보론 카바이드)'에 대한 퀄 테스트를 성공적으로 마무리하고 첫 PO(구매주문서)를 받았다고 27일 밝혔다.

회사 측에 따르면 이에 따라 비씨엔씨는 SiC(실리콘 카바이드) 대체를 위해 자체 개발한 보론 카바이드(Boron Carbide) 베이스의 소재인 CD9으로 부품을 생산해 고객사에 본격적으로 양산 공급한다.

비씨엔씨의 CD9 소재는 메모리 생산 공정 중 옥사이드 에칭에서 주로 사용되는 Si(실리콘)과 SiC(실리콘 카바이드)보다 내마모성이 뛰어난 보론 카바이드를 기반으로 한 신소재다. 그동안 SiC는 Si 대비 강한 내마모성으로 높은 성장세를 지속해 왔다. 그러나 메모리의 초미세화, 고단화 심화로 에칭 공정의 플라즈마 파워가 강해지면서 SiC 소재의 단점이 나타나기 시작했고, 이에 따라 이를 대체할 수 있는 차세대 신소재의 필요성이 높아지고 있는 상태다.

CD9은 보론(Boron)을 주 성분으로 높은 공유 결합 에너지를 보유하고 있다. 기존 소재 대비 부품의 수명이 30% 이상 길어 반도체 디바이스 회사는 부품의 교체 주기를 연장할 수 있을 뿐만 아니라 파티클(Particle) 발생도 적어 반도체 생산 수율을 향상시킬 수 있다고 회사 측은 설명했다.

일반적으로 보론 소재는 높은 강도로 내마모성이 뛰어나다는 장점이 있는 반면, 제품화 과정에서 가공이 어려워 생산성이 떨어진다는 단점이 있다. 그러나 비씨엔씨는 소재 자체를 포커스 링(Focus Ring) 형태로 생산할 수 있는 특허 기술을 보유하고 있어 제품화 과정에서 재료비·가공비를 절감했을 뿐만 아니라 생산성을 크게 높힘으로써 원가경쟁력을 확보했다. 비씨엔씨는 현재 CD9 소재와 부품에 대해 국내외에 22개의 특허를 등록 또는 출원한 상태이며, 추가 출원도 준비 중이다.

김돈한 비씨엔씨 대표이사는 "회사는 여타 회사들이 기존 소재나 부품에 머물러 있을 때, 합성쿼츠 'QD9+'를 개발해 현재 양산 공급하고 있으며, 또 CD9도 5년 전부터 준비해 왔다"면서 "이런 연구개발을 토대로 비씨엔씨는 향후 글로벌 소재·부품 전문기업으로 도약할 것"이라고 말했다.


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