테라뷰, 한국·대만서 반도체 검사 핵심 기술 특허 등록

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 테라헤르츠 기술·솔루션 기업 테라뷰는 최근 한국과 대만에서 반도체 패키징 검사 시스템(EOTPR)의 핵심 기술에 대한 특허를 등록했다고 1일 밝혔다.

회사 측에 따르면 테라뷰의 EOTPR(Electro-Optical Terahertz Pulsed Reflectometry)은 테라헤르츠 반사파를 이용해 비파괴 방식으로 반도체 패키지 내부의 결함을 검사하는 시스템이다. 높은 정밀도로 결함 위치를 파악할 수 있고, 전기적 검사(ATE)의 한계를 극복해 혁신적인 검사 솔루션 시스템으로 평가받고 있다. 이번 한국과 대만에서 등록한 특허는 EOTPR 시스템 내 포함된 기술에 관한 내용이다.



회사 관계자는 "이번 특허 등록으로 EOTPR의 독자적인 기술을 더욱 강력하게 보호할 수 있게 될 것"이라며 "AI(인공지능), 머신러닝 등 고성장 산업에서 폭넓게 활용되고 있는 첨단 반도체 패키징 기술에 관련한 만큼 글로벌 시장에서 테라뷰의 기술력을 입증하는 중요한 이정표가 될 것"이라고 말했다.

이번 한국에서 등록된 특허는 테라뷰의 EOTPR 개별 칩 측정용 프로브(탐침)에 관한 것으로, 테라헤르츠파를 반도체 칩의 내부·외부로 효과적으로 전달하는 기술이다. 이를 통해 고객사는 칩의 품질, 불량 메커니즘에 대한 정확한 정보를 확보함으로써 생산 공정의 효율성을 높이고 수율을 극대화할 수 있다.

또 대만에서 등록된 EOTPR 다중 칩 측정 자동화 특허는 반도체 칩을 자동으로 접촉부에 연결할 수 있어 대량의 반도체 제조 공정에서의 검사·테스트 효율성을 더욱 향상시킬 것으로 회사 측은 기대했다.



돈 아논 테라뷰 대표이사는 "한국과 대만이 EOTPR 시스템의 핵심 거점이 될 것"이라며 "특히 한국 내 고객 지원 강화를 위해 상업적·기술적 기반을 지속적으로 확충할 계획"이라고 말했다.


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